實(shí)驗(yàn)一：擦拭去除率

在本實(shí)驗(yàn)中，我們驗(yàn)證了用無塵布擦拭時(shí)的除塵率。通過在有或沒有酒精的情況下進(jìn)行比較來比較效果。對(duì)于粉塵，我們使用大小為30μm的Ishimatsuko，它成為掉落并附著在其上的異物，并使用擦拭測(cè)試裝置，給出在恒定負(fù)載下擦拭時(shí)的數(shù)值。[實(shí)驗(yàn)?zāi)康腯確認(rèn)有無酒精擦拭器的除塵率[使用設(shè)備]擦拭測(cè)試設(shè)備，粗顆粒計(jì)數(shù)器RACCAR[測(cè)量環(huán)境]溫度27.7℃/濕度52％[實(shí)驗(yàn)方法] 首先，預(yù)定的溫度和濕度條件用空調(diào)/加濕器進(jìn)行調(diào)節(jié)，使?jié)穸葹?5％或更高，溫度為23°C±7°C。

①如下圖所示設(shè)置擦拭測(cè)試設(shè)備?！?/p>

 -將可移動(dòng)部分設(shè)置為以50毫米/秒的速度從左端移動(dòng)到右端。　

 -將三個(gè)要測(cè)量的晶片放置在A，B和D處。    賽車演示室自動(dòng)擦拭測(cè)試設(shè)備

②將300或更多Ishimatsuko灑在清理好的晶圓上作為指導(dǎo)，并使用粗粒子計(jì)數(shù)器RACCAR進(jìn)行測(cè)量。

③將一塊擦布包裹在擦拭測(cè)試設(shè)備的重物上，并用IPA酒精潤(rùn)濕?！?nbsp;將其安裝在開始擦拭的位置的可移動(dòng)部件框架中。

④將②的晶圓放在位置C，并同時(shí)操作擦拭測(cè)試設(shè)備。

⑤擦拭后立即收集晶片C，并用RACCAR進(jìn)行測(cè)量。

⑥在有或沒有酒精（干燥狀態(tài)）下，使用每個(gè)無塵布執(zhí)行此操作。 from從擦拭前后的值中獲取去除率。 *測(cè)量顆粒形狀為30μm或以上

實(shí)驗(yàn)二：運(yùn)行期間產(chǎn)生的灰塵數(shù)量

在該實(shí)驗(yàn)中，驗(yàn)證了移動(dòng)新的無塵布時(shí)會(huì)產(chǎn)生多少灰塵。至于如何移動(dòng)它，我握住無塵布并從手腕上搖動(dòng)它。它是新無塵布最初有多少灰塵的度量。 [實(shí)驗(yàn)?zāi)康腯驗(yàn)證新型無塵布自身產(chǎn)生的粉塵 [使用的設(shè)備]產(chǎn)生粉塵的測(cè)試設(shè)備，微粒計(jì)數(shù)器KC-31 [測(cè)量環(huán)境]溫度28.8°C /濕度50％

[實(shí)驗(yàn)方法]

首先，用空調(diào)/加濕器調(diào)節(jié)溫度和濕度條件（濕度45％或更高，溫度23°C±7°C）。

①清潔灰塵產(chǎn)生測(cè)試設(shè)備的內(nèi)部，并用粒子計(jì)數(shù)器檢查設(shè)備運(yùn)行過程中產(chǎn)生的灰塵數(shù)量為0。

②戴上干凈的手套，將一根滾筒從手臂垂到尖端。

③換上新的無塵布，并將其放入灰塵產(chǎn)生測(cè)試裝置中。

④開始測(cè)量粒子計(jì)數(shù)器，等待1分鐘，不要?jiǎng)邮帧?/p>

⑤之后，每秒將無塵布搖動(dòng)60次，持續(xù)1分鐘。⑥之后，請(qǐng)等待2分鐘，不要?jiǎng)邮帧?nbsp;   實(shí)驗(yàn) 　實(shí)驗(yàn)根據(jù)⑦⑤⑥總共3分鐘測(cè)得的值，將粉塵產(chǎn)生測(cè)試裝置的風(fēng)量和顆粒計(jì)數(shù)器的吸氣量轉(zhuǎn)換為實(shí)際產(chǎn)生的粉塵數(shù)。

*每張紙上產(chǎn)生的灰塵數(shù)，而不是區(qū)域數(shù)。*測(cè)量顆粒形狀為0.3μm或更大

實(shí)驗(yàn)三：切割過程中產(chǎn)生的灰塵數(shù)量

在該實(shí)驗(yàn)中，我們驗(yàn)證了在使用無塵布時(shí)發(fā)生撕裂或磨損等損壞時(shí)產(chǎn)生的灰塵。用剪刀剪開，以防撕裂。它是衡量如果您繼續(xù)使用損壞或撕裂的物品會(huì)有多大風(fēng)險(xiǎn)的度量。[實(shí)驗(yàn)?zāi)康腯無塵布破裂時(shí)的風(fēng)險(xiǎn)驗(yàn)證[使用的設(shè)備]灰塵產(chǎn)生測(cè)試裝置，細(xì)顆粒顆粒計(jì)數(shù)器KC-31[測(cè)量環(huán)境]溫度28.4°C /濕度46％    實(shí)驗(yàn)[實(shí)驗(yàn)方法]首先，用空調(diào)/加濕器調(diào)節(jié)溫度和濕度條件（濕度45％或更高，溫度23°C±7°C）。

①清潔灰塵產(chǎn)生測(cè)試設(shè)備的內(nèi)部，并用粒子計(jì)數(shù)器檢查設(shè)備運(yùn)行過程中產(chǎn)生的灰塵數(shù)量為0。

②戴上干凈的手套，將一根滾筒從手臂垂到尖端。

③一只手握住一個(gè)距離剪刀邊緣7厘米的標(biāo)記的剪刀，另一只手握住一個(gè)新的無塵布，將兩只手放在粉塵產(chǎn)生測(cè)試裝置中。

④開始測(cè)量粒子計(jì)數(shù)器，等待1分鐘，不要?jiǎng)邮帧?/p>

⑤之后，以刮刀上的標(biāo)記為基準(zhǔn)，每5秒鐘將無塵布切割12次，持續(xù)1分鐘。

⑥之后，請(qǐng)等待2分鐘，不要?jiǎng)邮?。根?jù)⑦⑤⑥總共3分鐘測(cè)得的值　 ，將粉塵產(chǎn)生測(cè)試裝置的風(fēng)量和顆粒計(jì)數(shù)器的吸氣量轉(zhuǎn)換為實(shí)際產(chǎn)生的粉塵數(shù)。

*測(cè)量晶粒形狀為0.3μm以上。*結(jié)果是按張而不是按區(qū)域。

實(shí)驗(yàn)四：吸水率

在本實(shí)驗(yàn)中，計(jì)算每張紙巾的無塵布供應(yīng)的水量。該數(shù)值是針對(duì)每張紙計(jì)算的，而不是針對(duì)供水效率或面積計(jì)算的，這表明了織物的性能。簡(jiǎn)單地說，一個(gè)無塵布吸收多少水是吸水的準(zhǔn)則。[實(shí)驗(yàn)?zāi)康腯驗(yàn)證一把無塵布周圍的吸水率[使用的設(shè)備] ASPRO緊湊型電子天平OH-42B[測(cè)量環(huán)境]溫度28.7℃/濕度51％[實(shí)驗(yàn)方法]首先，用空調(diào)/加濕器調(diào)節(jié)溫度和濕度條件（濕度45％或更高，溫度23°C±7°C）。

①取出一個(gè)帶鑷子的新無塵布，并用電子天平測(cè)量。

②將無塵布浸入一碗水中1分鐘。

③取出雨刷，用剪刀將其懸掛2分鐘。

④之后，用電子天平稱量雨刮器的重量。

⑤使用公式“④-①”計(jì)算供水量。

*每張紙的供水量，而不是周圍區(qū)域。

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